반도체 공정용 진공 압력 밸브 제어 알고리즘 자문 (Feed-Forward 포함)

프로젝트 개요 :
- 반도체 공정 장비용 진공 챔버 압력 제어 시스템을 자체 개발 중이며, 현재 실 장비 테스트 단계에 있습니다. Pendulum 이나 Butterfly valve 기반 압력 제어에서 발생하는 다음과 같은 실무적 문제들을 효과적으로 보상할 수 있는 실질적인 제어 알고리즘 개선이 본 프로젝트의 목표입니다.
* 공정 레시피 전환 시(저압↔고압, 저유량↔고유량) 압력 응답 지연·오버슈트
* MFC 가스 유량 변동(외란)에 대한 압력 변동
* 운전 조건에 따라 변하는 플랜트(밸브+챔버) 비선형/시변 특성
* 단순 PI(D) 피드백만으로는 잡히지 않는 정착 시간·정상상태 오차
* 제어 시간 단축을 Feed-forward 제어 필수 포함.