플러스프로젝트 배경
반도체 전구체 공급 및 기화 공정은 유량(Flow), 온도(Temperature), 압력(Pressure), 기화(Vaporization), 기포(Bubble)가 서로 영향을 주는 복합적인 공정입니다. 특히 LMFC와 기화기를 단순 유량 제어 시스템으로만 접근할 경우, 실제 공정에서 발생하는 2상 유동과 Flash Boiling 등의 비선형적인 현상을 충분히 분석하기 어렵다는 문제가 있습니다. 자료에서도 LM
프로젝트 성과
용역형 연구과제 완료
- 반도체 설비 회사의 연구과제 수행용 프로젝트 납품
핵심 기능
LMFC–Vaporizer 통합 동적 모델링
LMFC부터 기화기까지의 공정을 하나의 연속된 동적 시스템으로 모델링하여 실제 운전 과정에서 발생하는 변수 간 상호작용을 시뮬레이션합니다.
진행 단계
기획
2026.04.
- 요구 사항 분석 및 기획
프로젝트 상세
1) 포트폴리오 소개 반도체 전구체 공급·기화 공정의 동적 모델링 및 안정 운전 예측 솔루션 서비스 카테고리 반도체 공정 / 공정 시뮬레이션 / Digital Twin / Engineering Software / 예측 제어 메인 타깃 반도체 공정 엔지니어, 장비 개발 엔지니어, 전구체 공급 시스템 및 Vaporizer 개발 담당자 LMFC(Liquid Mass Flow Cont
